AC200-S-PP伺服勻膠機

AC200-S-PP伺服勻膠機

產品性能：

◆采用PP外殼設計，耐腐蝕易清潔

◆采用伺服電機驅動

◆內腔采用下抽風和套盤式真空吸盤

技術參數：

●內腔采用易清潔、耐腐蝕**高分子材料(HDPE)

●旋涂程序：較多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

●轉動速度：0-10,000rpm(較高速可選)

●旋涂加速度：0-50,000rpm/sec(空載)

●馬達旋涂轉速穩定性能誤差：< ±1rpm(AC200-SE); <±0.1rpm(AC200-PE)

●轉速調節精度及重復性：1rpm(AC200-SE); 0.1rpm(AC200-PE)

●AC200-PE另帶真空數字顯示、開關壓力調節和電子水平顯示功能

●工藝時間設定：0-3,000sec/step，時間設置精度：0.1sec

●支持wafer尺寸：碎片至200mm(8”圓晶)

●旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區域測量)

產品外型尺寸：

●480mm(D) * 360mm(W) * 350mm(H)